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Neues Verfahren zur Herstellung von Mikrobauteilen in Berlin entwickelt

    Berlin (ots) - Wissenschaftler vom Fritz-Haber-Institut der
Max-Planck-Gesellschaft in Berlin haben eine neue Methode zur
Herstellung von Mikromaschinen entwickelt. Für die Konstruktion
dieser nur  wenige Bruchteile eines Millimeters  kleinen Bauelemente
werden winzige Zahnräder, Mikrozangen und Gelenke benötigt. Die
Herstellung dieser Werkzeuge, war bisher sehr kompliziert und
zeitaufwendig. Jetzt ist es den Berliner Forschern gelungen, diese
dreidimensionalen Strukturen mit einem einfachen elektrochemischen
Verfahren mikrometergenau herzustellen. Mit einer  Elektrode, ähnlich
einer Mikrofräse, werden die Formen in Silizium oder Kupfer hinein
geätzt. Die elektrochemische Reaktion, das Herausfräsen der Formen,
läuft dabei innerhalb kurzer Impulse ab, die nur den milliardsten
Teil einer Sekunde andauern. Künftig sollen die Bauteile in größerer
Anzahl mit Hilfe eines Stempels produziert werden, in den die
Strukturen eingeprägt sind. Die Mikromaschinen werden als Sensoren in
der Telekommunikation und Medizintechnik eingesetzt.
    
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Weitere Informationen:
Fritz-Haber-Institut der Max-Planck-Gesellschaft
Dr. Rolf Schuster
Tel.: 030/84 13 51 25
Fax:  030/84 13 51 06
e-mail: schuster@fhi-berlin.mpg.de

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